真空技术

真空技术
内容简介:

《真空技术》包括真空技术的物理基础及实际技术两大部分。物理基础部分由稀薄气体理论及固体一气体间的现象两章组成;实际技术部分包括真空获得、总压强测量、分压强测量、真空检漏技术及真空系统等5章。《真空技术》注重理论联系实际,科学系统性较完整,对问题的阐述力求做到理论严谨、概念准确。《真空技术》可作为电子物理与技术、半导体、微电子、冶金、真空设备和实验物理等有关专业的研究生及本科生教材使用,也可供有关真空技术应用方面的科技人员参考。

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读书评论: 更多
  • 色龙
    04-20
    垃圾!不知道怎么校对的,错误百出,这是一门严谨的专业技术课,怎么能如此不负责任!
  • 小飞飞下个十年
    03-05
    从理论介绍,原理清晰明了,内容丰富,是很好的参考书
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